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【無錫冠亞】晶圓冷卻腔體測溫裝置 單晶硅冷卻循環裝置，冠亞制冷的半導體控溫chiller主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度精準控制，40℃以內加熱方式采用壓縮機熱氣加熱，半導體控溫chiller循環系統采用全密閉設計、循環泵采用磁力驅動泵，經過24小時連續運行拷機。

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